Метод фокусированного ионного пучка (ФИП) – пример наноструктурирования поверхностей при помощи заряженных частиц, своего рода литография: наноразмерный ионный зонд перемещается по образцу и локально удаляет материал. Преимущество ФИП состоит в том, что он позволяет изготавливать объекты заданной формы на подложках из практически любого материала – это делает метод перспективным для оптических приложений. В качестве подложки, как правило, используется диоксид кремния, […]
