МИЭТ получил грант на разработку технологических и фундаментальных основ безмасочной рентгеновской нанолитографии
Проект «Разработка и исследование перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения» национального исследовательского университета МИЭТ стал победителем конкурса на предоставление грантов в форме субсидий из федерального бюджета на реализацию отдельных мероприятий Федеральной научно-технической программы развития синхротронных и нейтронных исследований и исследовательской инфраструктуры на 2019 – 2027 годы.
Проект получает финансирование по лоту N2 «Методы синхротронной и нейтронной диагностики материалов и наноразмерных структур для перспективных технологий и технических систем, включая принципиально новую природоподобную компонентную базу».
Проект был подготовлен центром коллективного пользования МИЭТ «Микросистемная техника и электронная компонентная база». Проект посвящен разработке технологических и фундаментальных основ безмасочной рентгеновской нанолитографии с применением источника синхротронного излучения для создания элементной базы наноэлектроники с проектными нормами на уровне 20 нм и ниже.
Партнеры МИЭТ по проекту — Национальный исследовательский центр «Курчатовский институт» и Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики Российской Академии наук (ИПФ РАН).
Проректор МИЭТ по научной работе, доктор технических наук профессор Сергей Гаврилов рассказал: «Концепция безмасочной рентгеновской нанолитографии на базе источника синхротронного излучения является новой и не имеет мировых аналогов. Освоение данной технологии может обеспечить формирование топологических элементов с размерами вплоть до уровня 10 нм. Ключевым элементом такого литографического процесса является «электронная» маска, обеспечивающая динамическое изменение топологии шаблона по заданному закону.»
Фото: НИУ МИЭТ