В Институте физики микроструктур РАН – филиале ИПФ РАН (Федеральный исследовательский центр Институт прикладной физики им. А.В. Гапонова-Грехова Российской академии наук), разработана методика создания формы поверхности различных рентгенооптических элементов из монокристаллического кремния для мощных источников синхротронного излучения 4-го поколения (СКИФ, Россия и ESRF, Франция). Сложность задачи обусловлена малой длиной волны рентгеновского излучения, сравнимой с размером атома. Формообразование осуществляется методом прецизионной ионно-пучковой обработки. Методика основана на использовании ускоренных ионов с энергией, […]
