МИЭТ получил грант на разработку технологических и фундаментальных основ безмасочной рентгеновской нанолитографии
Проект «Разработка и исследование перспективных материалов и наноструктур для технологии безмасочной рентгеновской нанолитографии, применимой к созданию новой компонентной базы микро- и наноэлектроники с использованием источника синхротронного излучения» национального исследовательского университета […]