Проведена модернизация экспериментальной станции «Метрология» Курчатовского источника синхротронного излучения
В рамках программы по развитию синхротронных исследований национального проекта «Наука и Университеты» ученые из ВНИИОФИ и Курчатовского института провели модернизацию экспериментальной станции «Метрология» Курчатовского источника синхротронного излучения.
Перспективными направлениями работ на станции «Метрология» Курчатовского источника синхротронного излучения является реализация методик аттестации параметров тонкопленочных покрытий и наноструктурированных материалов, аттестации оптических свойств материалов и наноструктур, а также калибровка вторичных источников излучения и приемников излучения.
Модернизация позволит решать на канале «Метрология» широкий спектр задач:
— определение энергетических характеристик (калибровка) источников излучения в области УФ, вакуумного УФ и экстремального УФ диапазонов;
— определение спектральных коэффициентов отражения и пропускания оптических материалов в области экстремального и вакуумного ультрафиолета;
— определение оптических констант и спектральных коэффициентов отражения многослойных покрытий зеркал и литографических масок;
— определение спектральных коэффициентов пропускания интерференционных фильтров на основе многослойных наноструктур;
— метрологическое обеспечение литографии в области экстремального ультрафиолета;
— метрологическое обеспечение полупроводниковой электроники.
Источник фото и информации: ФГУП «Всероссийский научно-исследовательский институт оптико-физических измерений»