В МИЭТе прошла Школа «Синхротронные и нейтронные исследования для микро- и наноэлектроники»
В рамках 29-й Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов «Микроэлектроника и информатика-2022», которая состоялась 21-22 апреля на базе МИЭТа, для молодых исследователей была организована Школа «Синхротронные и нейтронные исследования для микро- и наноэлектроники». Мероприятие прошло на площадке «МИЭТ» Особой экономической зоны «Технополис Москва». Участниками стали более тридцати студентов и аспирантов университета, молодые специалисты, а также представители ведущих научных и производственных организаций, в партнерстве с которыми МИЭТ реализует проект по развитию безмасочной рентгеновской нанолитографии.
Программа Школы «Синхротронные и нейтронные исследования для микро- и наноэлектроники» включала ряд докладов о состоянии дел в текущих проектах, связанных с разработкой установки безмасочной рентгеновской литографии: по созданию ее облика, критических технологий элементов и ключевых узлов, подходов к созданию МЭМС-динамических масок, использованию различных источников рентгеновского излучения и т.д.
«Ключевой задачей школы был обмен опытом в очном режиме общения между ключевыми участниками проекта «Рентген-Литограф», оценка состояния дел и выстраивание дальнейшей стратегии реализации проекта», – пояснил модератор школы, директор ЦКП «Микросистемная техника и электронная компонентная база» (ЦКП «МСТ и ЭКБ») Николай Дюжев.
Приглашение принять участие в работе школы получили ученые НИЦ «Курчатовский институт», нижегородского ФИЦ ИПФ РАН, Института ядерной физики МГУ им. М.В. Ломоносова, группы компаний ЭСТО, АО «НИИМЭ», АО «ЗНТЦ», АО «ЭУФ ЛАбс», ООО «МАППЕР» и ООО «Поликетон». Научно-исследовательскую работу «Рентген-Литограф» по изучению возможности создания установки безмасочной рентгеновской нанолитографии с длиной волны 13,5 нм на базе синхротронного и/или плазменного источника в ЦКП «МСТ и ЭКБ» выполняют по заказу Министерства промышленности и торговли Российской Федерации.
Фото: сайт МИЭТ